SYNOPSYS 光学设计软件课程四十八:从初始结构开始设计的微光刻透镜

你现在使用的电脑有一个中央处理器,它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成,是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计,这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。

1.镜片数22片 2.物高31mm 3.物方数值孔径NA 0.2 4.波长为UV 5.像方晶圆尺寸是12.66mm 6.总长小于1200mm

这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的,最好分两步设计。首先,我们将为左半部分设计一个镜片组,可以让光束经过遮光罩,光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组,将准直光束成像到晶圆片上。

首先,我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头,输入的命令如下:

下面是对DSEARCH的输入:

返回一个非常好的初始结构,我们将它保存。

使用命令为:SAVE LEFT11.

现在激活ACON 2,我们使用DSEARCH来设计右半边的镜片组,输入命令如下:

结果很好,我们保存了这个镜头,使用命令:

SAVE RIGHT11.

现在把这两部分合并起来。再次激活ACON 1,并输入:

COMBINE 23

RIGHT11.

现在它们被合并成了一个镜头。

现在打开由DSEARCH为右半部分镜片组准备的优化宏,修改TOTL的设置,指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标,现在由solve控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。

查看多视场衍射MTF,在像质分析中,选择MTF(衍射) 多视场衍射MTF,颜色为M,然后运行MMF

查看畸变图,在像质分析中,选择像差→畸变,颜色为M→运行DIS

我们有了一个非常好的微光刻镜头。

很高兴您选择SYNOPSYS来设计您的镜头,它可以快速的做出非常好的设计。

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